. Resumo: O presente trabalho tem como objetivo desenvolver um processo de fabricação de elementos micro-ópticos utilizando-se litografia por feixe de elétrons. Ao perder energia, os elétrons do feixe e, junto com os ejetados durante a ionização do He, são recolhidos pela espira e retornam à fonte de. • – Interação do feixe de elétrons (e-). Para cada voltagem de. 2 – Interação (e-) matéria. As simulações do volume de interação do feixe de elétrons em função da energia foram produzidas com software Casino [CASINO v]. Page 7. Simulação por metodo Monte Carlo – Software Casino – [HOST]o Cruz (CM-UFMG).